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基于改进黑翅鸢算法优化的晶圆台模型预测轨迹跟踪控制
CSTR:
作者:
作者单位:

(沈阳工业大学机械工程学院,辽宁沈阳 110870)

作者简介:

王帅洋,男,2000年生,硕士研究生,研究方向为运动控制优化方法。 通信作者:孟新宇,男,1970年生,博士,讲师,研究方向为运动控制、机器视觉与机电产品设计,E-mail:mengxinyu@sut.edu.cn。

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:


Model Predictive Trajectory Tracking Control of Wafer Stages Based on IBKA Optimization
Author:
Affiliation:

(School of Mechanical Engineering,Shenyang University of Technology,Shenyang,Liaoning 110870,China)

Fund Project:

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    摘要:

    为了改善芯片分选机晶圆运动平台在复杂工况下控制精度误差大和稳定性差的问题,提出了一种多策略改进黑翅鸢算法(IBKA)与模型预测控制(MPC)相结合的混合控制策略——IBKA-MPC;最后通过 MATLAB/Simulink进行实验仿真。结果表明,所提出的 IBKA-MPC控制器在晶圆台轨迹跟踪中具有更优的控制精度和鲁棒性。

    Abstract:

    To address the problems of large control precision error and poor stability of the wafer motion platform of chip sortersunder complex working conditions,a hybrid control strategy combining multi-strategy Improved Black-winged Kite Algorithm(IBKA)and Model Predictive Control(MPC),namely IBKA-MPC,is proposed. Finally,experimental simulations are carriedout via MATLAB/Simulink. The results show that the proposed IBKA-MPC controller exhibits superior control accuracy and robustness in wafer stage trajectory tracking.

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